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镀锌螺旋风管--排气系统分类
关注:87805  添加时间:2016/5/30 15:03:16

镀锌螺旋风管,排气系统的分类您了解吗?下面我们就这一问题详细的介绍一下:

  (1)一般排气:其来源于机台运转发热产生不含有害物质或是高温气体,但考虑无尘室空调负荷与过滤装置负荷,因此将废气以一般风车抽至大气排放至大气环境而不需处理。注:GEX采用镀锌螺旋风管,HEX采用SUS304酸排(SEX)、碱排(AEX)系统流程:

  (2)酸碱性排气:其主要来源于化学清洗工作站,清洗晶片时所产生之挥发性气体,此气体部分含有浓烟,部分则对呼吸系统有刺激性作用有害人体,故必须经过Scrubber中水洗中和处理,再由风机排入大气。

  (3)有机溶剂排气:其主要来源于涂胶、显影工序和各工序使用有机溶剂清洗过程时所产生,需经有机废气处理设备处理后,再由风机排入大气。

  (4)碱性剥离排气:主要来源为阵列工程的剥离工序所使用之剥离液,废气首先经过冷凝吸收器,将废气中的剥离液冷却下来,冷凝器吸收处理后的废气所含的废气浓度会大为下降,然后送至Central Scrubber做水洗中和处理,再由风机排大气。

  (5)应急排气:当洁净室机台端风管内探头感应气体浓度过高时,紧急启用以使生产正常并维持室内环境。

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